我系研究生前往日本大阪大学进行学术交流访问
发布时间：2018-08-09
受日本大阪大学Kazuya Yamamura教授邀请，2018年8月1日至8月5日在机械与能源工程系邓辉助理教授的带领下，机械系4名硕士和博士研究生对日本大阪大学精密科学系进行学术交流访问。
访问交流期间，大阪大学Kazuto Yamauchi教授和Kazuya Yamamura教授对大阪大学以及精密科学专业的情况进行了介绍。大阪大学成立于1931年，是一所日本顶尖、世界一流的著名研究型国立综合大学，QS2018世界大学排名位于世界第63位，日本第3位。精密科学系设立于1939年，先后承担日本文部省COE、21世纪COE以及国际化COE等多项国家基础研究项目，并设立了超精密加工研究中心以及Ultra Clean Facility (Class 1)等大型研究设施。
之后，我系研究生与大阪大学研究生分别以报告形式对自己的研究课题所取得的最新进展进行了介绍。我系博士生张翊以“Dislocation revelation of 4H-SiC wafer using ICP”为题，对其所担当的晶圆加工课题的最新进展进行了介绍；博士生王芳以“Anodic behavior of tungsten alloy during electrochemical polishing”为题，介绍了钨合金的电化学抛光的最新结果；硕士研究生张临风以“Investigation on electrochemical etching of GaN for realization of efficient material removal”为题，对氮化镓材料的刻蚀强化加工技术进行了介绍；我系研究助理刘念将于今年10月份入学大阪大学，并将展开想要的合作研究，刘念以“Atomic-scale ultra-precision electrochemical mechanical polishing of wide gap semiconductor wafers”为题，对其在研究助理期间的工作进行了总结。大阪大学Kazuto Yamauchi教授，Kazuya Yamamura教授，机械系邓辉助理教授与研究生们对报告内容进行了深入探讨，并提出许多宝贵意见，让参加报告会的同学受益匪浅。
报告结束后，我系研究生一行参观了大阪大学精密科学技术与应用物理系精密加工实验室、纳米制造实验室以及Ultra Clean Facility (UCF)设施，对等离子体辅助抛光装置、等离子化学气相加工装置、真空等离子体加工装置、SPM清洗装置等进行了观摩学习。通过聆听关于对各个加工设备与表征设备的功能介绍，同学们对所在领域的前沿技术与发展方向有了更深一步的了解，为课题的开展提供了新的思路。
在8月3号以及4号，邓辉助理教授同Kazuto Yamauchi教授和Kazuya Yamamura教授就今后的合作进行了深入探讨。双方将在博士生联合培养、大型研究设施和设备的共用以及本科生暑期社会实践等方面展开合作。
此次交流之行促进了两校研究生之间的交流，拓展了知识面与视野，为开展今后的科研工作打下了良好的基础。
供稿：邓辉助理教授课题组
访问交流期间，大阪大学Kazuto Yamauchi教授和Kazuya Yamamura教授对大阪大学以及精密科学专业的情况进行了介绍。大阪大学成立于1931年，是一所日本顶尖、世界一流的著名研究型国立综合大学，QS2018世界大学排名位于世界第63位，日本第3位。精密科学系设立于1939年，先后承担日本文部省COE、21世纪COE以及国际化COE等多项国家基础研究项目，并设立了超精密加工研究中心以及Ultra Clean Facility (Class 1)等大型研究设施。
之后，我系研究生与大阪大学研究生分别以报告形式对自己的研究课题所取得的最新进展进行了介绍。我系博士生张翊以“Dislocation revelation of 4H-SiC wafer using ICP”为题，对其所担当的晶圆加工课题的最新进展进行了介绍；博士生王芳以“Anodic behavior of tungsten alloy during electrochemical polishing”为题，介绍了钨合金的电化学抛光的最新结果；硕士研究生张临风以“Investigation on electrochemical etching of GaN for realization of efficient material removal”为题，对氮化镓材料的刻蚀强化加工技术进行了介绍；我系研究助理刘念将于今年10月份入学大阪大学，并将展开想要的合作研究，刘念以“Atomic-scale ultra-precision electrochemical mechanical polishing of wide gap semiconductor wafers”为题，对其在研究助理期间的工作进行了总结。大阪大学Kazuto Yamauchi教授，Kazuya Yamamura教授，机械系邓辉助理教授与研究生们对报告内容进行了深入探讨，并提出许多宝贵意见，让参加报告会的同学受益匪浅。
报告结束后，我系研究生一行参观了大阪大学精密科学技术与应用物理系精密加工实验室、纳米制造实验室以及Ultra Clean Facility (UCF)设施，对等离子体辅助抛光装置、等离子化学气相加工装置、真空等离子体加工装置、SPM清洗装置等进行了观摩学习。通过聆听关于对各个加工设备与表征设备的功能介绍，同学们对所在领域的前沿技术与发展方向有了更深一步的了解，为课题的开展提供了新的思路。
在8月3号以及4号，邓辉助理教授同Kazuto Yamauchi教授和Kazuya Yamamura教授就今后的合作进行了深入探讨。双方将在博士生联合培养、大型研究设施和设备的共用以及本科生暑期社会实践等方面展开合作。
此次交流之行促进了两校研究生之间的交流，拓展了知识面与视野，为开展今后的科研工作打下了良好的基础。
供稿：邓辉助理教授课题组