邓辉博士，南方科技大学机械与能源工程系长聘教授，博士生导师。邓辉博士担任广东省精密光学工程重点实验室主任、深圳市半导体专用设备工程研究中心主任、华为-南方科技大学超精密制造与测量创新实验室主任。邓辉课题组致力于基于创新原理的原子尺度超精密制造机理与技术研究，研究方向聚焦于两点：其一、以原子尺度物理化学反应为核心技术手段，探究非破坏式原子级制造新原理，获得微观尺度的原子级精度；其二、将人工智能与先进制造相结合，研究加工过程的量化控制与精密预测等关键问题，获得宏观尺度的原子级精度。
研究领域：
◆ 原子尺度制造的创新原理
◆ 基于物理化学原理的原子精度加工技术
◆ 原子尺度材料去除、迁移与重构技术
◆ 人工智能赋能半导体先进制造工艺与装备
工作经历：
◆ 2026年6月~至今：南方科技大学，机械与能源工程系，长聘教授
◆ 2026年8月~至今：南方科技大学，半导体学院（国家卓越工程师学院），双聘教授
◆ 2022年12月~2026年5月：南方科技大学，机械与能源工程系，长聘副教授 (研究员)
◆ 2017年7月~2022年11月：南方科技大学，机械与能源工程系，助理教授 (副研究员)
◆ 2016年3月~2017年6月：新加坡制造技术研究院 (SIMTech)，科学家
◆ 2013年4月~2016年3月：日本学术振兴会 (JSPS)，青年研究员
教育经历：
◆ 2013年4月~2016年3月：大阪大学 (日本)，精密科学与技术专业，博士
◆ 2011年4月~2013年3月：大阪大学 (日本)，精密科学与技术专业，硕士
◆ 2006年9月~2010年6月：华中科技大学，机械设计制造及其自动化专业，学士
所获荣誉：
◆ 2025年：荣获华为技术有限公司“火花奖”
◆ 2020-至今：连续入选多年入选斯坦福大学“全球前2%顶尖科学家”榜单
◆ 2024年：获得国家级青年人才项目资助
◆ 2025年：荣获广东省机械工业科学技术奖二等奖
◆ 2024年：荣获第十四届上银优秀机械博士论文特别奖（指导教师）
◆ 2024年：荣获全国颠覆性技术创新大赛“集成电路与微纳系统”领域赛优胜奖
◆ 2023年：获批广东省自然科学基金杰出青年项目资助
社会职务：
青年编委：
◆ International Journal of Extreme Manufacturing (IJEM, JCR Q1, IF=14.7)
◆ Nanomanufacturing and Metrology (NMME)
◆ Nanotechnology and Precision Engineering (NPE)
委员：
◆ 中国机械工程学会 (CMES) -极端制造分会
◆ 美国机械工程师学会 (ASME)
◆ 日本精密工学会 (JSPE)
◆ 国际纳米制造学会(ISNM)
◆ 国际工程与技术科学院(AET)
代表性学术论文：
[1]. Zhang, J., Li, C., Wang, Y.*, Zhang, Y., Chen, Z., Yang, J., Deng, H.*, 2026. Atomic-scale reconstruction of sapphire induced by selective tribochemical removal of surface atoms. Nature Communication, 17: 4673.
[2]. Zhang, Y., Xiao, Y., Liang, J., Zhang, C., Deng, H.*, 2025, Towards atomic-scale smooth surface manufacturing of β-Ga2O3 via highly efficient atmospheric plasma etching, International Journal of Extreme Manufacturing, 7/1:015105.
[3]. Yamamura, K.*, Deng, H.*, Sano, Y., Murata, J., Yang, X., Sun, R., 2025, Review of Physicochemical-assisted Nanomanufacturing Processes for Wide-bandgap Semiconductor Wafers, International Journal of Machine Tools and Manufacture, 211: 104321.
[4]. Yongjie Zhang, Jin Tang, Shaoxiang Liang, Junlei Zhao, Mengyuan Hua, Chun Zhang, Hui Deng*:,2024, Atomic-scale smoothing of semiconducting oxides via plasma-enabled atomic-scale reconstruction, International Journal of Machine Tools and Manufacture,196: 104119.
[5]. Binbin Guo, Jiahui Kang, Tianbiao Zeng, Hongqiao Qu, Shixiang Yu, Hui Deng* and Jiaming Bai*. 2022, 3D Printing of Multiscale Ti64-Based Lattice Electrocatalysts for Robust Oxygen Evolution Reaction. Advanced Science, 2201751 1-12.
[6]. Hu Luo, Khan Muhammad Ajmal, Wang Liu, Kazuya Yamamura and Hui Deng*.2021, Polishing and planarization of single crystal diamonds: state-of-the-art and perspectives. International Journal of Extreme Manufacturing, 3 022003 pp1-43.
[7]. Yi Zhang, Linfeng Zhang, Keyu Chen, Dianzi Liu, Dong Lu and Hui Deng*. 2021, Rapid subsurface damage detection of SiC using inductivity coupled plasma. International Journal of Extreme Manufacturing, 3 035202 1-11
[8]. Hu Luo, Khan Muhammad Ajmal, Wang Liu, Kazuya Yamamura and Hui Deng*. 2021, Atomic-scale and damage-free polishing of single crystal diamond enhanced by atmospheric pressure inductively coupled plasma. Carbon, 182 175-184.
[9]. Rong Yi, Yi Zhang , Xinquan Zhang , Fengzhou Fang and Hui Deng*, 2020, A generic approach of polishing metals via isotropic electrochemical etching, International Journal of Machine Tools and Manufacture, 150: 103517 1-11.
[10]. Zhidong Fang, Yi Zhang, Rulin Li, Yanan Liang and Hui Deng*, 2020, An efficient approach for atomic-scale polishing of single-crystal silicon via plasma-based atom-selective etching, International Journal of Machine Tools and Manufacture, 159: 103649 1-15.
其他信息：
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