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论文题目：高效大气电容耦合等离子体射流源的开发及应用研究答辩人：张浚祈 导 师：邓辉 副教授时间：2025年05月06日 地点： 工学院北楼529会议室

论文题目：气体团簇离子束抛光单晶硅的机理与工艺研究答辩人：谢媛 导 师：邓辉 副教授时间：2025年05月06日 地点： 工学院北楼529会议室

论文题目：金刚石衬底等离子体原子选择刻蚀抛光工艺研究答辩人：肖玉玺 导 师：邓辉 副教授时间：2025年05月06日 地点： 工学院北楼529会议室